Phòng thí nghiệm Plasma đầu tiên ở Việt Nam đã được xây dựng tại Đại học Đà Nẵng, do Đại học Joseph Fourier của Cộng hòa Pháp tài trợ. Dự án này nằm trong khuôn khổ chương trình hợp tác đào tạo, nghiên cứu khoa học và chuyển giao công nghệ giữa Đại học Đà Nẵng với các trường Đại học của Pháp.
Phòng thí nghiệm Plasma là một thành phần của Phòng thí nghiệm quốc tế về Vật lý hạt nhân ở Việt Nam, được thành lập trong khuôn khổ chương trình hợp tác giữa Viện Khoa học Quốc gia Pháp và Bộ Khoa học-Công nghệ.
Bước đầu, Phòng thí nghiệm Plasma tại Đại học Đà Nẵng được trang bị 3 hạng mục thiết bị gồm: một lò phản ứng plasma nghiên cứu nhiều cặp cực, một thiết bị phóng điện và một thiết bị nghiên cứu đặc trưng điện của Plasma (cảm biến tĩnh điện của Langmuir).
Lò phản ứng Plasma cho phép thực hiện một số thí nghiệm cơ bản về công nghệ micro và công nghệ nano như khắc hay phủ những lớp mỏng kim loại bằng phương pháp PACVD (phủ hóa học trạng thái hơi với sự trợ giúp của Plasma) hoặc bằng phương pháp PAPVD (phủ vật lý trạng thái hơi với sự trợ giúp của Plasma). Nhờ lò phản ứng này, các nhóm nghiên cứu của hai Đại học có thể thực hiện các đề tài nghiên cứu chung, như đồng hướng dẫn luận án Tiến sĩ.
Các thiết bị lắp đặt tại Phòng thí nghiệm Plasma này cũng cho phép các học viên cao học và nghiên cứu sinh tiến hành các nghiên cứu thực nghiệm. Các thiết bị này đảm bảo thực hiện ít nhất ba dạng thực nghiệm: đặc trưng hóa tính điện của plasma bằng cảm biến tĩnh điện Langmuir; nghiên cứu thực nghiệm sự phóng điện (mô tả, định luật Paschen, đặc trưng hóa điện cực dương); nghiên cứu thực nghiệm phương pháp phủ lớp kim loại mỏng với sự trợ giúp của plasma.
Việc lắp đặt thiết bị này vừa được hoàn tất và đưa vào hoạt động trong tháng 11. Với đội ngũ cán bộ chuyên môn sâu về Plasma và trang thiết bị được trang bị, Đại học Đà Nẵng có thể phát triển một Trung tâm nghiên cứu khoa học và đào tạo hiện đại về Plasma ở Việt Nam./.